富士通セミコンダクターの惠下 隆氏、“紫綬褒章”を受章

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富士通セミコンダクターの惠下 隆氏、“紫綬褒章”を受章


掲載日:2015/05/08


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 富士通セミコンダクター株式会社は、春の褒章において、社員の惠下 隆氏が4月29日付で“高集積強誘電体メモリの開発”により紫綬褒章を受章したと発表した。伝達式は5月15日に行なわれる。

 紫綬褒章は、科学技術分野における発明・発見や、学術及びスポーツ・芸術文化分野における優れた業績を挙げた者に授与されるという。

 今回の受章者は、富士通セミコンダクターのシステムメモリ事業部 専任部長 惠下 隆氏。同氏のグループでは、劣化原因が半導体プロセスで発生する水素による強誘電体の還元であることを定量的に明らかにしたと述べている。

 また、水素を通しにくい保護膜で強誘電体キャパシタを覆う劣化抑制技術を開発し、世界に先駆けて強誘電体メモリ(FRAM)の量産化に成功したという。更に強誘電体結晶の改善などによってFRAMの低電圧化及び高集積化を実現し、FRAMをスマートカードに搭載可能にしたと伝えている。



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