採用:UMC、ケイデンスの物理的・電気的DFMサインオフツール導入

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採用:UMC、ケイデンスの物理的・電気的DFMサインオフツール導入


掲載日:2013/07/23


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 米ケイデンス・デザイン・システムズ社(ケイデンス)は、台湾の半導体ファウンダリ企業 United Microelectronics Corporation(UMC)が、ベンチマークテストの結果、28ナノメーター(nm)設計向けに物理的なサインオフ及び電気的なばらつき最適化のために、ケイデンスの“in-design”サインオフDFM(design for manufacturability:製造性考慮設計)フローを採用したことを発表した。

 これらのフローは、ランダム及びシステマティックな歩留まり問題に対応しており、28nm設計向けに実証済のファウンダリ・フローを提供するという。これらのフローはUMCとの協業によって開発され、“Cadence Litho Physical Analyzer”、“Cadence Pattern Analysis”、“Cadence Litho Electrical Analyzer”、そして“Cadence Chemical-Mechanical Polishing Predictor”を含む、DFM防止、解析、及びサインオフ機能が組み込まれているという。

 ケイデンスによると、28nm以降のプロセスでは製造までの期間を加速するために、DFM上のホットスポットの正確な予測と自動修正が求められるという。DFMサインオフ・テクノロジは、ケイデンスのEncounterデジタルとVirtuosoカスタム・アナログ・インプリメンテーション、及びサインオフ・ソリューションに統合されている。このソリューションは、リソグラフィ、Chemical-Mechanical Polishing、そしてレイアウト依存効果の物理的及びパラメトリックの影響をモデル化し、解析する“修正しながら構築する”(correct-by-design) 機能を提供している。設計の物理的、電気的ばらつきを抑えるためにインプリメンテーションを最適化することで、量産までの期日目標達成が可能になると伝えている。


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