MemsONEコンソーシアム、MEMS用設計・解析ソフトの新版を発売

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MemsONEコンソーシアム、MEMS用設計・解析ソフトの新版を発売


掲載日:2012/02/07


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 MemsONEコンソーシアムは、MEMS(Micro Electro Mechanical System:微小電気機械システム)用設計・解析ソフトウェア「「MemsONE」Ver.5.0」を発売した。

 同コンソーシアムは、みずほ情報総研株式会社/一般財団法人マイクロマシンセンター/株式会社数理システムにより構成されている。「MemsONE」は、構造/電磁場/熱伝導などの数値解析機能を備えていて、MEMSを容易に設計でき、迅速に試作・評価できる。

 今回の「Ver.5.0」では、回路シミュレータの機能が改善され、機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出し、機構解析と回路解析を有機的に連携させることが可能になった。また、各解析機能のチュートリアルの見直しや材料DBのユーザ登録・更新機能の改善などにより、ユーザの知見や材料物性などのデータを活かすことで、MEMSデバイスの設計・開発にかかるストレスを軽減でき、設計・開発をより効率化できるようになった。更に、プロセス解析に係わる各種データの追加・拡充、回路解析のMEMS素子モデルの追加、知識DBの補充なども行なわれた。

 機構解析の解析結果の断面表示コマンドを連続実行する際、前回の断面位置パラメータを引き継げるようになった。また、M行列解法パラメータ設定が変更され、高度なスケーリングを用いることで行列解法の収束性が向上した。ファンドリの標準的なプロセスレシピ(マスクデータ含む)も追加された。


出荷日・発売日 2012年2月6日 発売
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