みずほ情報総研、半導体製造装置メーカ向け装置通信ソフトを拡充

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みずほ情報総研、半導体製造装置メーカ向け装置通信ソフトを拡充


掲載日:2010/06/09


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 みずほ情報総研株式会社は、半導体製造装置メーカー向けに、カナダPEER Group社製の設備・装置通信ソフトウェアの取り扱い製品ラインナップを、拡大した。

 今回取り扱い開始されるソフトウェアは、製造装置組み込み型の装置統合制御ソフトウェア「PEER Tool Orchestrator(PTO)」、SEMI規格に準拠した通信テストツール「CCS Envoy」/「PEER Factory Acceptance Tester(PFAT)」、SECS通信規格対応装置接続ソフトウェア「SECS4Hosts」、SEMI GEM通信規格対応装置組み込みソフトウェア「GEM4Tools」の5つ。

 「PTO」は、半導体・液晶製造装置に組み込むことで、装置内PLCなどの各種デバイス制御をはじめ、ウェハやホストとのSEMI通信メッセージ機能の実装を可能とする装置統合制御ソフトウェア。主要メーカーのデバイス用インターフェースを標準装備している。

 「CCS Envoy」と「PFAT」は、半導体製造装置の通信テストを行なうソフトウェア。「CCS Envoy」は、分かりやすい操作性を備え、200mm・300mm半導体工場向け通信インターフェースに関するSEMIの規格や工場シナリオへの適合性を確認できる。「PFAT」は、「CCS Envoy」同様の機能に加え、ジョブ管理/材料搬送/レシピ管理など運用ベースのシナリオテストまでを実行できる。

 「SECS4Hosts」は、工場ホストや工場内装置接続クライアントに組み込むことで、装置をオンライン化し稼働状況管理や装置制御、材料加工を可能とするSECS通信ソフトウェア。「GEM4Tools」は、製造工場で適用されるSEMI通信規格GEMインターフェースを装置に実装するための装置組み込みソフトウェア。


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