みずほ情報総研など、統合型MEMS用設計・解析支援システムを発売

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みずほ情報総研など、統合型MEMS用設計・解析支援システムを発売


掲載日:2010/01/22


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 みずほ情報総研株式会社、財団法人マイクロマシンセンター、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムで構成される“MemsONEコンソーシアム”は、MEMS(Micro Electro Mechanical System:微小電気機械システム)用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.3.0を、発売した。

 「MemsONE」は、経済産業省/NEDO技術開発機構の“MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト”で開発された、MEMS設計に特化した統合型シミュレーションシステム。MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する“機構解析シミュレータ”、エッチング、マルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する“プロセス解析シミュレータ”、“プロセス逆問題解析ソフト”、“ナノインプリント解析シミュレータ”、“知識データベース”などで構成されている。これらにより、様々な分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計でき、迅速に試作評価を行なえる。

 今回発売された「MemsONE」Ver.3.0では、櫛歯形状などのモデリング機能、薄膜積層構造のメッシュ分割機能が強化されたほか、電界解析における境界要素法解法や、MEMS回路シミュレーションにおける積層梁などの新素子追加、素子の編集機能、解析パラメータのスイープ機能の追加、更に、材料・プロセスDBのデータの追加などが行なわれ、複合化するMEMSデバイスの設計・開発をより効率的に行なえる。


出荷日・発売日 2010年1月20日 発売
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